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헬리콘 플라즈마의 연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Lower Hybrid 주파수 부근에서 헬리콘 플라즈마의 주파수 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
헬리콘 플라즈마의 모드변환 영역 근처에서 충돌에 의한 에너지 흡수에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
반사계를 이용한 헬리콘 플라즈마 밀도측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
낮은 자기장하에서 헬리콘 플라즈마 밀도의 시간적 진동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Ar, N₂ 전자빔 플라즈마의 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
C₄F8 / H₂ 헬리콘 플라즈마를 이용한 산화막 식각시 형성된 잔류막 손상층이 후속 실리사이드 형성 및 전기적 특성에 미치는 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
HF 플라즈마의 방전 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
고밀도 플라즈마의 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
대면적 플라즈마 반응기에서의 안테나와 aspect ratio에 따른 플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
가스 주입구의 위치가 헬리콘 플라즈마 특성 및 산화막 식각에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
영구 자석을 이용한 다수 헬리콘 방전의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
물 전극 대기압 플라즈마의 방전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대기압 플라즈마의 대기환경기술 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
유도결합형 플라즈마 발생기(Inductively Coupled Plasma Source)에서 발생되는 산소 플라즈마의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
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