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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제13회 학술발표회논문개요집
발행연도
1997.7
수록면
190 - 193 (4page)

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목차

1. 서론

2. 시뮬레이션 모델과 지배방정식

3. 시뮬레이션 결과 및 검증

4. 결론

5. 참고문헌

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