세라믹과 금속재료 코팅을 위한 나노입자적층 시스템

천두만; 김민형; 이재철; 안성훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 천두만 (서울대학교) 김민형 이재철 안성훈

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회 강연 및 논문집

발행연도: 2008.5

수록면: 25 - 28 (4page)

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Nano particle deposition system (NPDS) is the newly developed ceramic and metal coating process. Nano and micro sized powders are sprayed through the supersonic nozzle at room temperature and low vacuum condition. Ceramic and metal powders can be deposited on metal and polymer substrates without thermal damages. In this research, ceramic titanium dioxide (TiO₂) thin films were deposited on metal (stainless steel, copper, aluminum) and polymer (polyethylene terephthalate and polymethyl methacrylate) substrates, and aluminum oxide (Al₂O₃) thin films were also deposited on metal (stainless steel and aluminum) substrates. In addition, metal tin (Sn) thin film was deposited on stainless steel substrate. Coatings were fabricated with rectangular and line shapes. Deposited surface morphology was investigated. The test results showed that the NPDS provides a feasible coating method of ceramic and metal materials.

#Deposition(적층) #Coating(코팅) #Nano particle deposition system(나노입자적층 시스템)

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