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박정수 (중앙대학교) 주영희 (중앙대학교) 우종창 (중앙대학교) 허경무 (중앙대학교) 위재형 (중앙대학교) 김창일 (중앙대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 및 녹색성장 친환경 표면처리 워크숍
발행연도
2009.10
수록면
219 - 220 (2page)

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이번 실험에서는 TiN의 건식 식각 특성을 연구하기 위해 BCl₃/Ar/N₂ 유도 결합플라즈마를 이용하였다. BCl3와 Ar의 가스 비율이 BCl₃ (5 sccm)/Ar (15 sccm)/N (4 sccm) 인 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01593642');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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