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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제37권 제1호
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 72 - 77 (6page)
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RF 마그네트론 스퍼터링법의 스퍼터링 조건에 따른 TFT 구동회로를 위한 ZnO 박막의 구조적 특성에 관해 연구하였다. ZnO 박막은 RF 파워 및 증착압력을 변화시킴으로서 성장시켰다. 구조적 특성은 X-선 회절 분석기(XRD)와 원자력간 현미경(AFM)에 의해 분석되었다. ZnO 박막은 100W의 RF 파워에서 충분한 결정도를 가졌다. 그러나 RF 파워가 증가함에 따라 ZnO 박막의 표면 거칠기가 증가하였고 증착압력이 5mTorr에서 15mTorr로 증가함에 따라 ZnO(002) 피크의 반치폭(FWHM)이 증가하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (10)
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2. [학술지(정기간행물)] - D. J. Jones / 1999 / Optical properties of AlN determined by vacuum ultraviolet spectroscopy and spectroscopic ellipsometry data / Journal of Materials Research 14 (11) : 4337 ~ 4344
3. [학술지(정기간행물)] - P. G. Le Comber / 1979 / Amorphous-silicon field-effect device and possible application / Electronics Letters 15 (6) : 179 ~ 181
4. [학술지(정기간행물)] - F. C. Lin / 1995 / Zinc oxide varistor gas sensors : I, effect of Bi2O3 content on the H2-sensing properties / Journal of American Ceramic Society 78 (9) : 2301 ~ 2306
5. [학술지(정기간행물)] - M. H. Francombe / 1990 / Growth and properties of piezoelectric and ferroelectric films / Journal of Vacuum Science and Technology A 8 (3) : 1382 ~ 1390
6. [학술지(정기간행물)] - M. S. Wu / 1989 / Low-loss ZnO optical waveguides for SAW-AO applications / IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control 36 (4) : 442 ~ 445
3. [학술지(정기간행물)] - P. G. Le Comber / 1979 / Amorphous-silicon field-effect device and possible application / Electronics Letters 15 (6) : 179 ~ 181
4. [학술지(정기간행물)] - F. C. Lin / 1995 / Zinc oxide varistor gas sensors : I, effect of Bi2O3 content on the H2-sensing properties / Journal of American Ceramic Society 78 (9) : 2301 ~ 2306
5. [학술지(정기간행물)] - M. H. Francombe / 1990 / Growth and properties of piezoelectric and ferroelectric films / Journal of Vacuum Science and Technology A 8 (3) : 1382 ~ 1390
6. [학술지(정기간행물)] - M. S. Wu / 1989 / Low-loss ZnO optical waveguides for SAW-AO applications / IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control 36 (4) : 442 ~ 445
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