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김경석 (조선대학교) 정현일 (조선대학교) 신주엽 (조선대학교) 마혜준 (조선대학교) 권익환 (포항공과대학) 양승필 (동아인재대학교) 홍정기 (포항공과대학) 정현철 (조선대학교)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제35권 제2호
발행연도
2015.4
수록면
141 - 149 (9page)

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전자제품에 필수적으로 사용되는 전자회로의 제작 시, 반도체 위에 증착하는 박막의 산화를 방지하기 위하여 molybdenum을 증착한다. Molybdenum 박막 증착 시 표면의 particle 또는 dust의 존재는 밀착력 감소 및 성능 저하, 수명 단축, 안전도 저하를 유발한다. 본 논문에서는 particle의 유무에 따른 molybdenum 박막 증착부의 변화를 보기 위하여, 두 가지 glass substrate를 대상으로 손상 측정 실험을 하였다. Sputtering 증착 기법으로 molybdenum이 glass substrate에 직접 코팅이 되는 clean과 dirty 두 종류의 molybdenum 박막을 제작하고, 손상 측정을 위해 반사형 디지털 홀로그래피를 구성하였다. 반사형 디지털 홀로그래피는 간섭계의 구성이 손쉽고 다양한 배율렌즈를 적용하여 측정영역에 다양성을 줄 수 있으며, 측정시간이 타 기법에 비해 짧다는 장점을 가진다. 실험 결과로부터 반사형 디지털 홀로그래피가 박막의 손상 및 결함 측정에 유용한 기술임을 확인하였다.
#반사형 디지털 홀로그래피 #몰리브덴 박막 #레이저간섭계 #각 스펙트럼법 #레이저 비파괴검사 #손상측정 #Reflection Type Digital Holography #Molybdenum Thin Film #Laser Interferometer #Angular Spectrum Method #Laser Testing Method #Damage Measurement

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 이론
3. 실험
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (12)

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1. [학술지(정기간행물)] - D. Gabor / 1948 / A new microscopic principles / Nature 161 (4098) : 777 ~ 778 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - J. W. Goodman / 1967 / Digital image formation from electronically detected holograms / Appl. Phys. Lett 11 : 77 ~ 79 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - M. A. Kronrod / 1972 / Reconstruction of a hologram with a computer / Sov. Phys. Tech. Phys 17 (2) : 333 ~ 344 google schola 4. [단행본] - K. Curtis / 2010 / Holographic data storage: from theory to practical systems / Wiley google schola 5. [단행본] - H. J. Coufal / 2000 / Holographic data storage / Springer-Verlag New York, Inc google schola

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