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임수희 (성균관대학교) 김태훈 (성균관대학교) 배지환 (성균관대학교) 양철웅 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집
발행연도
2015.2
수록면
177 - 177 (1page)

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