마이크로 3축 피에조 구동 스테이지 개발

최기봉; 이재종; 김기홍; 임형준; 권순근

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저자정보: 최기봉 (한국기계연구원) 이재종 (한국기계연구원) 김기홍 (한국기계연구원) 임형준 (한국기계연구원) 권순근 (한국기계연구원)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2015 한국생산제조시스템학회 추계학술대회

발행연도: 2015.10

수록면: 31 - 31 (1page)

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