GD-MS 및 LA-ICP-MS를 이용한 고순도 SiC 웨이퍼 중 극미량 불순물 원소 분석

정세훈; 김선혜; 정성욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정세훈 (포항산업과학연구원(RIST)) 김선혜 (포항산업과학연구원(RIST)) 정성욱 (포항산업과학연구원(RIST))

저널정보: 한국분석과학회 한국분석과학회 학술대회 제58회 한국분석과학회 춘계학술대회 [초록집]

발행연도: 2017.5

수록면: 122 - 122 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2017

GD-MS 및 LA-ICP-MS를 이용한 고순도 SiC 웨이퍼 중 극미량 불순물 원소 분석

정세훈 , 김선혜 , 정성욱 한국분석과학회 학술대회 2017.05 학술대회자료

2012

ICP-MS를 이용한 철강 중의 극미량 Cd, Pb, As, Sn 분석

정세훈 , 김선혜 , 이중주 외 1명 한국분석과학회 학술대회 2012.05 학술대회자료

2010

ICP-MS를 이용한 고순도 몰리브덴 중 불순 원소 분석

정세훈 , 정성욱 , 이중주 한국분석과학회 학술대회 2010.11 학술대회자료

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정세훈

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 화학 TOP 5% 공학 > 산업공학

논문수 51 이용수 2,634

김선혜

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 화학 TOP 5%

논문수 29 이용수 1,710

정성욱

소속기관 한승케미칼

주요연구분야 자연과학 > 화학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 59 이용수 4,102

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