사각 웨이퍼 범프 적용 Si3N4 가공

박진호; 배만수; 김경한

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박진호 (한국기계연구원) 배만수 (한국기계연구원) 김경한 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2017.5

수록면: 436 - 436 (1page)

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