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강준현 (한국과학기술연구원) 양현덕 (한국과학기술연구원) 송진동 (한국과학기술연구원) 한일기 (한국과학기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.2
수록면
335 - 335 (1page)

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