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저자정보
손병구 (광운대학교) 이규항 (광운대학교) 김태욱 (철원플라즈마산업기술연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.2
수록면
425 - 425 (1page)

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