P-type doping of MoS₂ films during chemical vapor deposition by phosphorous pentoxide

Jae Sang Lee; Chang Soo Park; Eun Kyu Kim

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jae Sang Lee (Hanyang University) Chang Soo Park (Hanyang University) Eun Kyu Kim (Hanyang University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제55회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.8

수록면: 186 - 186 (1page)

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