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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Gookhee Han (Kwangwoon University) Guangsup Cho (Kwangwoon University)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.26 No.6
발행연도
2017.11
수록면
201 - 207 (7page)

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An electron-excited temperature (T<SUB>ex</SUB>) is not determined by the Boltzmann plots only with the spectral data of 4p→4s in an Ar-plasma jet operated with a low frequency of several tens of ㎑ and the low voltage of a few ㎸, while T<SUB>ex</SUB> can be obtained at least with the presence of a high energy-level transition (5p→4s) in the high-voltage operation of 8 ㎸. The optical intensities of most spectra that are measured according to the voltage and the measuing position of the plasma column increase or decay exponentially at the same rate as that of the intensity variation; therefore, the excitation temperature is estimated by comparing the relative optical-intensity to that of a high voltage. In the low-voltage range of an Ar-jet operation, the electron-excitation temperature is estimated as being from 0.61 eV to 0.67 eV, and the corresponding radical density of the Ar-4p state is in the order of 10<SUP>10</SUP>~10<SUP>11</SUP> ㎝<SUP>−3</SUP>. The variation of the excitation temperature is almost linear in relation to the operation voltage and the position of the plasma plume, meaning that the variation rates of the electron-excitation temperature are 0.03 eV/㎸ for the voltage and 0.075 eV/㎝ along the plasma plume.
#Plasmas #Plasma devices #Discharge #Atmospheric Pressure Discharge #spectroscopy

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Excited Electron Temperature with a Relative Spectra-Intensity
Ⅲ. Experiments and Spectra-Intensity
Ⅳ. Analysis of Excitation Temperature
Ⅳ. Conclusions
References

참고문헌 (36)

참고문헌 신청
W. Wiese, J. Brault, K. Danzmann, V. Helbig, and M. Kock, Phys. Rev,. A 39, 2461 (1989). A. Bogaerts, R. Gijbels, and J. Vlcek, Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy, 53, 1517 (1998). A. Sarani, A. Nikiforov, and C. Leys, Phys.Plasmas, 17, 063504 (2010). S. Forster, C. Mohr, and W. Viol, Surface Coat. Technol., 200 (2005) 827. A. Nikiforov, A. Sarani, and C. Leys, Plasma Sour. Sci. Technol., 20, 015014 (2011).

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