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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제11권 제3호
발행연도
2002.9
수록면
176 - 182 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2002

이온빔 스퍼터링으로 증착한 TiO₂ 박막의 광학적 특성 및 응용
이정환 ,  조준식 ,  김동환 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2002.09 학술저널
이온빔 스퍼터링으로 고분자 기판 위에 증착한 SiO₂ / TiO₂ 다층 박막의 반사 방지막 특성
이정환 ,  조준식 ,  김동환 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.06 학술대회자료
이온빔 스퍼터링으로 증착한 $SiO_2/TiO_2$ 반사 방지막의 특성 연구
이정환 ,  조준식 ,  김동환 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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이온빔 스퍼터링을 사용하여 유리 기판위에 TiO₂ 박막을 증착하고 광학적, 구조적 특성을 분석한 후 실제 반사 방지막을 제작하였다. 박막 증착은 상온에서 실시하였으며 이온빔 전압을 1.2 kV 이온빔 전류 밀도를 200 ㎂/㎠로 고정하였다. 방전가스로 아르곤과 산소 가스를 사용하였으며 O₂/Ar비를 변화시켜 박막을 증착하고 각 박막의 특성을 분석하였다. 증착된 박막은 비정질이었고 O₂/Ar비가 1일 때 화학량론적인 조성비를 나타내었다. 증착된 박막의 표면 거칠기는 7 Å이내의 낮은 값을 보였으나 과량의 산소분위기에서는 그 값이 50 Å이상으로 증가하였고 이로 인해 투과도가 감소하는 경향을 보였다. 증착된 TiO₂ 박막의 굴절률은 2.40-2.45값을 나타내었고. O₂/Ar 비가 0.25-1사이에서 높은 투과도를 나타내었다. 이온빔 스퍼터링으로 SiO₂/TiO₂ 6층 반사 방지막을 제작하여 가시 광선 영역에서 약 1%이하의 반사율 특성을 갖는 박막을 증착할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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