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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
강승훈 (서울과학기술대학교) 장대윤 (서울과학기술대학교) 이주형 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제19권 제2호
발행연도
2020.2
수록면
69 - 74 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

비접촉 변위센서를 이용한 초소형렌즈 정밀금형 형상측정
강승훈 ,  장대윤 ,  이주형 한국기계가공학회지 2020.02 학술저널

2019

비접촉 변위센서를 이용한 정밀렌즈 금형형상측정
강승훈 ,  장대윤 ,  이주형 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2019.10 학술대회자료

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In this study, we proposed a method for surface profiling aspheric lens molds using a precision displacement sensor with a spatial scanning mechanism. The precision displacement sensor is based on the confocal principle using a broadband light source, providing a 10 nm resolution over a 0.3 mm measurable range. The precision of the sensor, depending on surface slope, was evaluated via Allan deviation analysis. We then developed an automatic surface profiling system by measuring the cross-sectional profile of a lens mold. The precision of the sensor at the flat surface was 10 nm at 10 ms averaging time, while 200 ms averaging time was needed for identical precision at the steepest slope at 25 deg. When we compared the measurement result of the lens mold to a commercial surface profiler, we found that the accuracy of the developed system was less than 90 nm (in terms of 3 sigmas of error) between the two results.
#Surface Profiling(형상측정) #Chromatic Confocal Sensor(다파장 공초점 센서) #Molds(금형)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 기본 이론 및 실험장치
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
Zhang, Z. / 2019 / Manufacturing technologies toward extreme precision / International Journal of Extreme Manufacturing 1(2) google schola Pongs, G. / 2012 / Polymer Optics and Molded Glass Optics: Design, Fabrication, and Materials II, Vol. 8489 google schola Tohme, Y. E. / 2007 / Grinding aspheric and freeform micro-optical molds / Proc. SPIE 6462, Micromachining Technology for Micro-Optics and Nano-Optics V and Microfabrication Process Technology XII 6462 google schola Liu, L. / 2019 / Fabrication process and measurement of injection molding aspheric lens / Proc. SPIE 11053, Tenth International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation 110533 google schola Aguirre, D. / 2019 / Precision Glass Molded Lenses Analysis via Null-Screen Test / Journal of Physics: Conference Series 1221 google schola

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