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Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect Ratio 변화에 따른 Plasma Uniformity 변화
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .10
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .10
상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포
전기학회논문지
2022 .08
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
중성 종의 열 유동 해석 및 플라스마 유체 시뮬레이션을 이용한 유도 결합 Ar/H2 플라스마의 특성 분석
전기학회논문지
2022 .02
0D 글로벌 모델을 활용한 유도 결합 플라즈마 내부 Ar/H₂S 화학반응 메커니즘 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .07
Numerical Investigation of Argon Inductively Coupled Plasma Source Using a Parallel 2-D Axisymmetric Fluid Model with Unstructured Grid
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2022 .10
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
차세대 배선공정을 위한 Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering을 이용한 텅스텐 막막 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
N₂/NH₃SiH₄ 유도 결합형 플라즈마의 압력과 혼합가스 비율에 따른 이온 및 중성기체 밀도 분포
전기학회논문지
2017 .02
이중 안테나 제어에 따른 유도결합 N₂/NH₃/SiH₄ 플라스마의 전자 및 라디칼 밀도 분포
전기학회논문지
2022 .02
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