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자료유형
학술저널
저자정보
손홍배 (단국대학교 전자전기공학과) 김민석 (단국대학교 전자전기공학과) 강정원 (단국대학교 전자전기공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제8권 제2호
발행연도
2009.1
수록면
59 - 62 (4page)

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In order to check the validation of LC simulation, 0.7 inch LCOS panel in full-HD resolution was fabricated and used for the electro-optical measurement. Compared the measured data with the calculated data, the averaged difference was 1.72% under 0 ~ +6 V bias on pixel electrode. To improve the optical characteristics of full-HD LCOS panel, the planar structure and trench structures (0.1 um, 0.2 um and 0.3 um-in-depth) between adjacent pixels were investigated with LC simulation. The planar structure showed the higher reflectance and faster reflectance-voltage response time than the trench structure. The optical fill factor and contrast ratio of planar structure were also higher than those of trench structures. As compared 1 um-in-depth trench structure resembled to the real structure with the planar structure, the optical fill factor was improved by 1.15% and the contrast ratio was improved by 5.26%. In order to minimize the loss of luminance and contrast ratio, the planar structure need to be applied between adjacent pixels.
#Microdisplay #LCOS #inter-pixel structure #trench

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