표면개질된 탄소나노월의 접착특성을 이용한 표면 마이크로머시닝 기술

최혁주; 이석원; 이국필; 김용현; 최원석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최혁주 (한밭대학교) 이석원 (한밭대학교) 이국필 (한밭대학교) 김용현 (한밭대학교) 최원석 (한밭대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2020.8

수록면: 52 - 52 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

접착특성을 이용한 혁신적인 탄소나노월의 표면 미세가공 공정

최혁주 전기공학과 2021.01 학위논문

2020

표면개질된 탄소나노월의 접착특성을 이용한 표면 마이크로머시닝 기술

최혁주 , 이석원 , 이국필 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료

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#탄노나노월 #멤스 #표면개질 #접착력

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황순오 , 최혁주 , 이석원 외 2명 전기학회논문지 P 2020 .12

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