플라즈마 공정으로 합성 된 MoS₂ 나노박막의 트라이볼로지 특성 평가

안치성; 윤혜원; Kubra Aydin; 김태성

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저자정보: 안치성 (한국생산기술연구원) 윤혜원 (한국생산기술연구원) Kubra Aydin (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2020년도 통합학술대회 논문집

발행연도: 2020.9

수록면: 468 - 468 (1page)

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#MoS₂ #Thin film #Plasma process #Tribology

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