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성인호 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 김시준 (충남대학교) 이영석 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 정원녕 (충남대학교) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
87 - 87 (1page)

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혼합가스 플라즈마에서는 플라즈마의 복잡성에 인해 전극에 도달하는 이온종에 따른 이온에너지분포의 확인이 어렵다. 따라서 수치해석 전산모사를 통해 아르곤 및 헬륨 플라즈마에 대한 압력 및 주파수에 따른 이온에너지 분포를 조사하였다. 모든 주파수에서 압력이 증가할수록 전극에 도달하는 헬륨 이온의 양이 줄어드는 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548739');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Plasma #Simulation #Inert gas mixture

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