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저자정보
신재혁 (전북대학교) 한상문 (전북대학교) 노시윤 (전북대학교) 유연태 (전북대학교) 김진수 (전북대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
151 - 151 (1page)

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본 논문은 GaN 나노와이어와 그래핀을 이용해 제작한 상온에서 동작하는 가스센서의 특성평가 결과를 보고한다. 가스센서는 Si(111) 기판에 성장된 GaN 나노와이어 위에 그래핀을 전사하고 구리 전극을 증착시켜 제작하였다. GaN 나노와이어와 그래핀은 각각 광흡수층과 운반자 전도층으로 사용되었다. 가스센서는 가스 유량과 광세기를 변화시켜 평가^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10548801');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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