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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김승준 (성균관대학교) 박진홍 (성균관대학교) 허근 (전북대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 워크샵 대한전기학회 ISC 2021 정보 및 제어 심포지엄
발행연도
2021.4
수록면
197 - 197 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

Al/Ti/TiN 다층 금속 구조와 W 금속 전극 간 접촉 저항에 관한 연구
김승준 ,  박진홍 ,  허근 정보 및 제어 논문집 2021.04 학술대회자료
Al/Ti/TiN 다층 금속 구조와 W 금속 전극 간 접촉 저항에 관한 연구
김승준 ,  박진홍 ,  허근 대한전기학회 워크샵 2021.04 학술대회자료

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Al/Ti/TiN 적층 구조에서 aluminium 필름의 힐록현상이 발생하였을 때 tungsten 금속 전극과의 접촉 저항 변화에 관해 연구하였다. Al/Ti/TiN 적층 구조를 에칭 후, 옥사이드 절연물질 증착 시, 금속 ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10554974');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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