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유제이 (한국표준과학연구원) 문동민 (한국표준과학연구원) 이진복 (한국표준과학연구원) 김운중 (한남대학교) 홍기룡 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국분석과학회 한국분석과학회 학술대회 제66회 한국분석과학회 춘계학술대회 [초록집]
발행연도
2021.5
수록면
165 - 165 (1page)

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가스분석 기술은 우리나라 산업 전반, 특히 반도체, 원자력 발전, 에너지산업, 식품 및 환경산업 등에 기본 인프라 구축을 위해 반드시 필요한 핵심 기술이다. 특히 산업의 고도화에 따라 고순도 가스 및 미량의 가스상 불순물 분석을 위한 표준물질 및 관련 분석 기술의 필요성은 증가하고 있다. 하지만 국내 · 외 가스분석 관련 산업체에서 표준가스, 고순도 가스 및 특수가스 등의 생산을 위해 가스분석을 수행하고 있으나 품질관리에 애로사항이 많아 관리가 미흡한 실정이다. 특히 고순도 질소 및 헬륨의 경우, 생산성 악화로 인해 품질관리가 어려운 상황이며, 고순도 가스 생산업체에서 생산되는 고순도 원료가스의 순도가 균일하지 않아 표준가스 제조용 순수가스의 품질관리가 필수적이다. 이에 본 연구에서는 국내 · 외 가스분석 기술 및 생산기술 향상, 그리고 품질관리를 위한 고순도 가스의 순도분석용 일차표준가스를 개발하였다.
본 연구에서 개발된 일차표준가스는 고순도 질소의 불순물로 존^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10558062');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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