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논문 기본 정보
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- 발행연도
- 2021.6
- 수록면
- 87 - 92 (6page)
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The catalytic metal-based nitrogen dioxide (NO₂) gas sensors have good adsorption of gas, but their desorption occurs at high temperatures. Thus they show an extremely slow recovery at room temperatures and high temperature operation is preferred. In this study, a unique gate structure of a graphene and catalytic metal (Pd) was employed to demonstrate the HEMT-based nitrogen dioxide gas sensor with a high NO₂ response and fast recovery. The Pd nanoisland structure was formed on graphene to maximize the surface through which nitrogen dioxide can react with the catalytic metal. Above all, when electron hole pairs are generated in graphene by irradiation with ultraviolet or visible light, oxygen ions adsorbed on the gate are oxidized to oxygen, and desorption is possible with a small amount of thermal energy. Thus, a nitrogen dioxide sensor having a high response of 2,430 and a fast recovery time of <100 s at room temperature was experimentally demonstrated.
목차
Abstract
I. 서론
II. 소자 구조 및 원리
Ⅲ. 제작 및 특성
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
참고문헌 (0)
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