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저자정보
조동현 (과학기술연합대학원대학교) 조성권 (과학기술연합대학원대학교) 이대훈 (과학기술연합대학원대학교) 강우석 (과학기술연합대학원대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2021년 학술대회
발행연도
2021.11
수록면
813 - 815 (3page)

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2023

수랭식이 적용된 DBD반응기에서 CF₄ 제거 성능 평가
조동현 ,  조성권 대한기계학회 춘추학술대회 2023.04 학술대회자료

2022

CF₄ 제거를 위한 유동층 반응기를 이용한 열 플라즈마-촉매 스크러버 특성 연구
조동현 ,  조성권 ,  강홍재 외 1명 대한기계학회 논문집 B권 2022.01 학술저널

2021

유동층 반응기를 이용한 열 플라즈마-촉매 반응기에서 CF₄ 제거 성능 평가
조동현 ,  조성권 ,  이대훈 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2021.11 학술대회자료
유동층 반응기를 이용한 촉매분해 스크러버 특성의 선행연구
조동현 ,  조성권 ,  강홍재 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2021.05 학술대회자료

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As part of the development of a scrubber for the removal of warming gases generated in semiconductor and display industries, an evaluation of CF₄ removal was conducted by using a thermal plasma-catalysis reactor that applied with a fluidized bed. The fluidized bed can stabilize the temperature of the catalyst bed due to its high heat transfer characteristic and minimize the effect of particle impurities generated in the semiconductor and display processes. CF₄ was used as a reactant gas, and the re^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10896459');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#스크러버(Scrubber) #플라즈마(Plasma) #촉매(Catalyst) #사불화탄소(Tetrafluoromethane)

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Dae Hoon Lee 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 .02
PFC 분해를 위한 플라즈마 촉매 반응기의 선행 연구
조성권 ,  김관태 ,  이대훈 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2015 .11
[화학] 무기흡착제를 이용한 반도체 공정에서 사용되는 할로겐 가스 (BCl₃, CF₄) 의 처리 및 측정에 관한 연구
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