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김성재 (KAIST) 정지훈 (KAIST) 김산하 (KAIST)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
411 - 411 (1page)

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화학기상증착기법을 활용한 수직정렬된 탄소나노튜브의 합성 기술은 나노미터 스케일의 다공도를 가진 구조물들을 마이크로미터 스케일에서 기하학적 특성을 자유롭게 제어하여 제작할 수 있기 때문에 다양한 스캐폴드 물질로 활용이 가능하다. 그중 펨토몰 수준의 분자 검출로 응용될 수 있는 나노광학적 센싱 기법인 표면증강라만분광법(Surface Enhanced Raman Spectroscopy, SERS) 센싱에 효과적으로 응용될 수 있음이 보고된 바 있다. 하지만 표면이 소수성 특성을 갖도록 표면 특성을 조작하면 분자의 응축을 유도할 수 있는 장점이 있지만 나노 공동 내로 충분히 피분석체 용액이 침투할 수 없기 때문에 분자 센싱이 이루어지지 않는 문제가 있다. 본 연구에서는 소수성 특성을 갖더라도 SERS 센싱이 가능한 탄소나노튜브 스캐폴드 구조를 구현하기 위하여 O₂ 플라즈마 환경에^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11040700');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Carbon nanotube #Plasma #Atomic layer deposition #Surface-enhanced raman spectroscopy

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