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이 논문의 연구 히스토리 (3)
2022
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본 논문에서는 졸-겔법에 의해 사파이어 기판에 성장된 MgZnO:In 박막의 In과 Mg 전구체의 농도에 따른 물성 변화를 연구하였다. 성장된 박막의 특성은 XRD, UV-vis, Hall effect, XPS를 이용하여 분석하였다. XRD 분석 결과에 따르면 시료는 모두 c-축 우선 배향성을 보였고, UV-vis 분석 결과 시료의 가시광 영역 투과율이 대체로 80% 이상인 것을 확인하였다. Hall 효과 측정을 통해 In이 많이 첨가될수록 비저항이 감소하는 것을 확인할 수 있었다. XPS 분석에 따르면 In을 5mol% 이상 첨가하면 Mg 함량이 감소하는 것으로 나타났다. O 1s 결합 에너지 역시 XPS로 조사하였고, O<SUB>I</SUB>/O<SUB>II</SUB> 비율을 비교하여 박막의 결합 상태를 관찰하였다. In을 5 mol% 이상 첨가했을 때는 In이 Mg의 산소 공공 합성을 방해하여 O<SUB>I</SUB>/O<SUB>II </SUB>비율이 감소함을 확인하였다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과
Ⅳ. 결론
REFERENCES
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