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논문 기본 정보

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저자정보
신연배 (청주대학교) 강동원 (청주대학교) 김제하 (청주대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제11호
발행연도
2017.11
수록면
740 - 744 (5page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.11.740

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우리는 DC/RF 스퍼터링 방법으로 제조된 투명 전도 전극을 위한 ITO/Ag/ITO 다층 박막의 전기적 및 광학적 특성을 연구했다. 제조된 ITO/Ag/ITO 다층 박막은 4-point probe, UV-visible spectroscopy 그리고 Hall measurement을 이용하여 분석하였다. Ag의 두께를 5~10 nm로 조절하였을때, 400~1000 nm의 파장에서 약 80%의 평균 광 투과율을 보였다. 전자이동도는 Ag층의 두께가 증가함에 따라 감소하였고, 전자 농도는 급격히 증가하였다. 그 결과 18Ω/sq의 낮은 면저항을 구현하였다. 본 논문에서는 ITO와 Ag두께의 변화에 따른 투명 전극의 ITO/Ag/ITO 특성을 보고한다

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