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최진영 (울산대학교 첨단소재공학부) 엄태영 (울산대학교 첨단소재공학부) 박윤제 (울산대학교 첨단소재공학부) 최수현 (울산대학교 첨단소재공학부) 김대현 ((주)풍산홀딩스 기술연구소) 조윤주 (㈜풍산홀딩스 기술연구소) 김대일 (울산대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제31권 제4호
발행연도
2018.5
수록면
221 - 225 (5page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2018.31.4.221

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In this work, in order to effectively improve the electrical conductivity and visible light transmittance of ZnOthin films, ZnO single layer and ZnO/Ag bi-layer films were deposited on glass substrates by radio frequency and directcurrent magnetron sputtering, and then, the effects of an Ag buffer layer and electron beam irradiation on the electricaland optical properties of the films were investigated. The observed results indicate that ZnO 100 nm / Ag 7 nm filmsshow higher opto-electrical performance than the ZnO single layer film. In addition, electron beam irradiation alsoeffectively enhanced the visible transmittance and electrical conductivity of the ZnO/Ag bi-layer films.

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