반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성

이현섭 ,  손준규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

Copper 오염 최소화를 위한 Wafer Cleaning 공정 최적화

김서현 ,  홍진석 ,  전용명 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형

이한강 ,  김창욱 ,  장재연 외 2명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

김주영 ,  김광재

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2022 .11

다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발

황경환 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

반도체 제조 공정에서 graph attention networks를 이용한 웨이퍼 edge point 가상 계측 모델

양근우 ,  김창욱

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

정상 데이터 복원을 통한 영상 기반 반도체 웨이퍼 결함 검출 기법

박태경 ,  한승주 ,  홍제형

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

반도체 고 청정 특수강의 데이터 특성 분석

김준영 ,  최승건 ,  장선호 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

[로봇제어자동화 부문] 반도체 제조공정 웨이퍼 스테이지의 모델 기반 위치결정 부스트

안형준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05