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2015 .02
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Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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Characteristics of low temperature cobalt thins films deposited by VHF PEALD (60 and 100 MHz)
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2020 .02
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2019 .11
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Journal of Magnetics
2017 .06
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이 논문의 저자 정보
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김연규
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