다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

웨이퍼 연삭에서 웨이퍼 및 휠의 회전 방향에 따른 연삭액 유동에 관한 연구

이현섭 ,  이상직 ,  강필식

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .10

웨이퍼 다이 시프트 비전 검사를 위한 스캐닝 시스템 최적화

기대간 ,  박성준 ,  이재향 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .04

웨이퍼 연삭가공에서 형상정밀도 향상을 위한 이론적 모델링에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  김도연 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발

이석희 ,  이상원

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

웨이퍼 연삭 공정의 이론적 모델링을 이용한 형상정밀도 향상 기술에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  황경환

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

Fourier Filter를 이용한 비전 기반 반도체 Wafer 결함 검출

권용백 ,  김양중

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .11

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

웨이퍼 연삭에서 공정 조건에 따른 연삭액의 유동 특성에 관한 연구

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

다중센서 융합에 의한 SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시

황경환 ,  김동한 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

웨이퍼 클리닝 및 표면검사 자동화 장비 개발

강진수 ,  이창용 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

반도체 Wafer용 Edge Grinding Machine의 구조 안정화를 위한 설계 개선

박유라 ,  노승훈 ,  김영조 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01