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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이승재 (제주대학교) 장지원 (제주대학교) 서혜원 (제주대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제71권 제1호
발행연도
2021.1
수록면
1 - 5 (5page)

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직류 전류 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 질소가 도핑된 이산화 티타늄 박막을 성장하였다. 성장 시 질소 유량을 바꿔가며 박막에 삽입되는 질소의 양을 조절하고자 했다. 이렇게 성장 시킨 박막을 엑스레이 회절과 라만 분광 방법으로 분석하여서, 질소의 존재가 티타늄 이산화막의 결정 크기나 체적의 감소를 야기 함과 동시에 티타늄 원자의 자리 옮김을 유도함을 확인하였다. 질소 유량이 늘어남에 따라 이산화 티타늄 박막의 결정 결함의 정도는 더욱 심각해짐을 또한 관찰하였다. 이때 측정한 UV-Vis 결과에 따르면 질소 유량 변화에 따라 박막의 에너지 청색 편이가 확인 되었는데, 이는 양자 크기 효과에 기인한 것으로 판단된다.
#Titanium dioxide #Nitrogen doping #Raman Spectroscopy #이산화 티타늄 #질소 도핑 #라만 분광법

목차

I. 서론
II. 실험
III. 결과
IV. 결론
REFERENCES

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