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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학위논문
- 저자정보
- 지도교수
- 장효식
- 발행연도
- 2021
- 저작권
- 충남대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.
이용수1
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전 세계적으로 화석연료 고갈 및 기후변화 문제와 관련하여 지속 가능한 발전에 대한 연구의 필요성이 대두되며 태양광 에너지는 확석 발전을 대체할 수 있는 신재생에너지원으로 중요성이 증대되고 있으며 많은 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 전하선택접합 태양전지의 정공선택층으로 이용가능한 VOx 박막을 우수한 균일도로 증착하여 박막 결함을 감소시키고자 원자층 증착법으로 증착하였다. VTIP와 H2O를 각각 프리커서와 반응물로 사용하였다. n타입 태양전지용 실리콘 기판에 증착한 ALD-VOx 박막은 기존 연구 결과인 TE-VOx와 ALD-MoOx 박막보다 높은 패시베이션 특성을 보여준다. 또한 증착 후 N2 분위기에서 열처리를 통해 박막 내 탄소 함량과 Si-VOx 계면의 SiOx 형성이 감소됨에 따라 패시베이션 특성이 향상되며, V5+의 비율을 높게하여 전하선택효과에 의한 패시베이션 특성 향상을 확인하였다. 이를 통해 ALD-VOx 박막의 전하선택접합 태양전지의 정공선택층으로 이용 가능성을 보여주었다.
목차
그림 목차 .................................................................................................................. 2표 목차 ...................................................................................................................... 4제 1장. 서론 ............................................................................................................ 5제 2장. 이론적 배경 .............................................................................................. 82-1 태양전지의 구조 및 동작원리 .................................................................. 82-2 고효율 태양전지의 종류 및 구조 .......................................................... 102-2-1 터널링 ....................................................................................................... 142-3 태양전지의 특성 ........................................................................................ 152-3-1 개방전압(Voc, open-circuit voltage)과 전하수명 ................................... 152-3-2 재결합 ....................................................................................................... 172-4 원자층 증착법(ALD, atomic layer deposition) .......................................... 192-4-1 원자층 증착법으로 증착된 VOx(Vanadium oxide) 박막 ................... 21제 3장. ALD-VOx 박막의 증착 및 열처리에 따른 패시베이션 특성 .......... 233-1 ALD-VOx 박막의 증착 ............................................................................... 233-1-1 실험방법 ................................................................................................... 233-1-2 ALD-VOx 박막의 증착 및 특성 ........................................................... 263-2 ALD-VOx 박막의 패시베이션 특성 및 열처리에 따른 특성 변화 ... 293-2-1 실험방법 ................................................................................................... 293-2-2 ALD-VOx 박막의 패시베이션 특성 ..................................................... 323-2-3 열처리에 따른 ALD-VOx 패시베이션 특성 변화............................. 34제 4장. 결론 .......................................................................................................... 45참고문헌 .................................................................................................................. 47ABSTRACT * ......................................................................................................... 51감사의 글 ................................................................................................................ 53
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