The deposition temperature effects of ZnO buffer layers on the properties of ZnO:(Al,P) thin films by RF-magnetron sputtering

신승학 ,  이준형 ,  허영우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

The effect of ZnO buffer layer on the structural and electrical properties in the ZnO:(Al,P) thin films by the RF-magnetron sputtering

김창훈 ,  신승학 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

RF-Magnetron sputtering법을 이용한 ZnO buffer layer가 ZnO:(Al,P) 박막의 미세구조에 미치는 영향

신승학 ,  김종기 ,  이준형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Properties of ZnO:Ga thin films deposited by RF magnetron sputtering under various RF power

Deok Kyu Kim ,  Hong Bae Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .11

Electrical and optical properties of Ga-doped ZnO thin films prepared by RF magnetron Co-sputtering systems

Nam-Jung KIM ,  Naeho SHIN ,  Chang-Su HWANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구

권지선 ,  최재웅 ,  이창현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석

장성우 ,  황세훈 ,  윤정현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Characteristics of Ga doped ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering with Base Pressure

Deok Kyu Kim

Applied Science and Convergence Technology

2019 .01

RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구

진창현 ,  김홍배

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Structural and morphological properties change of Zn and Sn thin films by sputter time

이석희 ,  박주연 ,  최아롬 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Effect of Heat Treatment Method on Properties of ZnO Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering

Deok Kyu Kim

Applied Science and Convergence Technology

2017 .03

Fabrication of TiO2 thin films for perovskite solar cell using RF magnetron sputter

Kyungjin Cho ,  Seunghun Lee ,  Seongtak Kim 외 8명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

고효율 이종접합 태양전지를 위한 RF magnetron sputter로 증착한 ITO:Zr 박막에 관한 연구

Junyoung Kang ,  S. Q. Hussain ,  Anh Le Tuan Le 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Structural influence of Al-doped zinc oxide thin films on nano-textured silicon substrate by RF magnetron sputtering

Sel Gi RYU ,  Hyung Yong JI ,  Bhaska 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

The Electrical and Optical properties of Al-doped ZnO with high density O2 Plasma treatment on PES substrate

이상협 ,  송찬문 ,  엄태우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Effect of Pressure and Temperature on Al-doped Zinc Oxide Thin Films Deposited by Radio Frequency Magnetron Sputtering

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 1명

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2016 .02

Bulk and Surface of Al2O3 doped ZnO Films at Different Target Angles by DC magnetron sputtering

Junyoung Kang ,  Hyeongsik Pa ,  k 외 1명

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2016 .02

Texture and microstructure development in hydroxyapatite coatings deposited by means of RF-magnetron sputtering

Anna IVANOVA ,  Ma ,  ia SURMENEVA 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Effect of H₂S Mixed Gas on the Properties of SnS Thin Films and Solar Cells Prepared by RF Magnetron Sputtering

이상운 ,  이승곤 ,  신동혁 외 4명

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2020 .08

Thickness effect of ITO thin films deposited by RF magnetron sputtering on nano-textured surface of c-Si solar cell

Hyung Yong JI ,  Sel Gi RYU ,  Bhaska 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08