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저자정보
정재인 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원) 정재훈 (포항산업과학연구원) 송민아 (포항산업과학연구원) 김성환 (포항산업과학연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제48회 동계정기학술대회초록집
발행연도
2015.2
수록면
291 - 291 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (8)

2018

빗각 증착 기술의 원리와 경질피막에의 응용
정재인 ,  양지훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2018.06 학술대회자료

2017

플라즈마 분위기에서 빗각 증착에 의한 경질피막의 특성
정재인 ,  양지훈 ,  김성환 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017.11 학술대회자료
빗각 증착으로 제조한 질화 티타늄 박막의 조직 및 특성 변화
정재인 ,  양지훈 ,  김성환 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.02 학술대회자료

2016

글로우 및 아크 플라즈마 환경에서 빗각증착에 의한 박막 제조 및 특성
정재인 ,  양지훈 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2016.05 학술대회자료

2015

빗각 증착으로 제조된 알루미늄 박막의 조직변화와 부식 특성
정재인 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

2014

플라즈마 분위기에서 빗각 증착에 의한 박막 제조 및 특성 평가
정재인 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2014.05 학술대회자료

2013

완전화 박막 구현을 위한 빗각 및 스침각 증착 기술
정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2013.05 학술대회자료

2012

빗각 증착 기술과 이를 이용한 박막의 제조 및 특성
정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.08 학술대회자료

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#진공증착 #빗각증착 #알루미늄 박막 #내식성

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