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Low-resistivity ultrathin Cu and Co films deposition technology
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 CaWO₄:Dy3+ 박막의 광학, 구조, 표면 특성
새물리
2023 .10
Magnetic field optimization for high power impulse magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
N₂ 분위기에서 RF Magnetron Sputtering을 이용하여 제작된 TiAlNX박막의 열처리 온도에 따른 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Large-area graphene layer grown by using high power impulse magnetron sputtering
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
RF Magnetron Sputtering를 이용한 a축 ZnO:Al 박막의 구조적, 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
RF 마그네트론 CO-Sputtering 시스템을 이용하여 증착된 TiAlNX 박막의 최적 공정 및 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
고효율 이종접합 태양전지를 위한 RF magnetron sputter로 증착한 ITO:Zr 박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
박막의 공정에 따른 박막의 전자기파 차폐 효과 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
N₂ 분위기에서 RF magnetron sputtering 방법으로 증착된 TiN박막의 열처리 온도에 따른 내마모 특성 및 표면구조특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
RF magnetron sputtering과 O₂ plasma ashing 공정을 이용한 다공성 구조 박막 제작 및 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성
새물리
2020 .07
증착 에너지의 변화에 따른 박막특성 분석 및 수직자기이방성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
La0.88Sr0.12MnO₃ 박막의 증착 조건 및 물리적 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .05
Magnetron sputtering 장비의 Target erosion이 증착에 미치는 효과에 대한 2D PIC 시뮬레이션 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
RF magnetron sputtering법으로 제작된 IGZO 박막의 Annealing 변화에 따른 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
In-Ga-O 박막에서 Gallium 조성 변화에 의한 박막의 특성변화 연구 및 소자 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
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