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R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
Reducing the Process Energy through Applying Plasma in Atomic Layer Deposition of Solid Oxide Fuel Cell Electrolyte
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2019 .05
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 박막의 물리적·전기적 특성 비교
한국재료학회지
2017 .01
Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoOx film의 특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
Atomic Layer Deposition for Energy Conversion and Storage Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition (ALD)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
Role of a PVA layer During lithography of SnS<sub>2</sub> thin Films Grown by Atomic layer Deposition
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
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