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박해범 (국립한경대학교) 조성민 (국립한경대학교) 김건웅 (국립한경대학교) 심건호 (국립한경대학교) 정성화 (성균관대학교) 조경욱 (성균관대학교) 백승재 (국립한경대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
144 - 146 (3page)

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Due to the recent miniaturization of electronic devices, the size of semiconductor chips is decreasing. Accordingly, it is required to minimize the thickness of the thin film in the deposition process. The existing chemical vapor deposition (CVD) and physical vapor ^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE11027533');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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