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PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
PECVD를 이용한 SiO₂ 증착에서 전극 간격에 따른 증착률과 균일도 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
스퍼터 장치로 제조된 나노다층박막의 미세구조 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .02
ITO-Ag-ITO 다층박막의 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
PECVD 공정을 통한 ACL 증착 중 발생 입자의 특성변화 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
마스크 제어를 이용한 선형적인 두께 기울기를 갖는 다층박막거울 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
실시간 입자 복합특성 분석장치를 이용한 pecvd 공정 발생 입자의 분석 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
PECVD 공정에 의한 유기 금속계 중간층과 비정질 탄화수소층의 저마찰 코팅 개발에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Solving the RF coupling issue between chambers that share the ground in one PECVD system
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Tilted angle sputter를 이용한 복층 굴절 ITO 반사방지막 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Synthesis of SiNx:H films in PECVD using RF/UHF hybrid sources
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Characterization of PECVD SiN silicon photonics waveguide material for optical micro-ring resonator
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
증착 공정시 실시간 두께 측정 및 박막 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Effect of plasma properties on characteristics of silicon nitride film deposited by PECVD process at low temperature
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Oblique-angle sputtering에 의한 Indium tin oxide 이중층 반사방지막 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
박막의 공정에 따른 박막의 전자기파 차폐 효과 연구
한국분석과학회 학술대회
2022 .11
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