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플라즈마 공정에서의 열 관리
KOSCO SYMPOSIUM 논문집
2015 .05
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
플라즈마 공정용 컨버터의 제어
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2016 .11
플라즈마 활용 연소기술
기계저널
2015 .06
플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2016 .03
차원축소를 이용한 플라즈마 식각 공정의 비행시간 질량분석 데이터 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
부유 고조화 분석법을 이용한 플라즈마 진단 및 플라즈마 공정 모니터링 기술 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
플라즈마 처리장치에 대한 연구
정보 및 제어 논문집
2021 .04
The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching
전자공학회지
2020 .02
제어된 플라즈마 변수에 의한 반응 속도 제어
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .05
초고속 비행체 항력 감소를 위한 플라즈마 분사장치에 대한 예비 결과
한국추진공학회지
2016 .12
고밀도 플라즈마를 이용하여 식각된 MoS₂ 박막의 선택비개선 연구
대한전자공학회 학술대회
2024 .06
플라즈마 기술과 관련 산업의 이해
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2023 .10
건식 플라즈마 디스미어 공정 개발
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .04
플라즈마 식각 공정 3종 진단 결과 기반 CycleGAN 예측 모델
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
플라즈마 식각 공정을 통한 선택형 광 흡수/방사 메타 구조체 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
플라즈마 공정 장비의 센서데이터 분석 연구
한국정보통신학회 종합학술대회 논문집
2022 .05
플라즈마 유동해석 코드 개발 (I)
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2019 .05
플라즈마 응용 연소 버너 기술 개발
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016 .11
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