지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출
전기전자학회논문지
2016 .03
원격 플라즈마에서 NF₃ 가스를 이용한 SiGe의 고선택적 등방성 건식 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
TiO₂ Metalens 형성을 위한 다양한 펄스 플라즈마 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
대기압 플라즈마를 이용한 Si 계 소재 식각 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
펄스 플라즈마 기술을 통한 Si trench 의 aspect ratio dependent etching 개선에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
플라즈마 분야 적용을 위한 펄스전원 개발 및 실험
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
TiO₂ 메타렌즈 형성을 위한 다양한 펄스 플라즈마 식각과 메커니즘 분석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
실리콘카바이드 플라즈마 에칭 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
GaN epitaxy 층의 식각특성에 미치는 공정변수의 영향
한국결정성장학회지
2016 .01
비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2022 .04
상압플라즈마 식각 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 반도체 물질의 원형 패턴 형성에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .11
플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2016 .03
수소 기반 플라즈마를 이용한 PRAM 재료의 식각 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2023 .11
0