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2016 .07
랑뮤어 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
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2015 .11
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2016 .10
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2016 .07
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2016 .05
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2019 .11
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
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2019 .07
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2018 .10
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
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2017 .10
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
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2018 .10
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
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2020 .07
유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구
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2020 .07
유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
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2016 .07
방전 전류를 이용한 스마트폰 컷오프 전압 동적 제어 시스템
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2018 .02
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
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2021 .10
Ar/CF₄ 혼합가스를 이용한 유도결합 플라즈마 분석
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2022 .07
유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
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2015 .11
선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
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2016 .10
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