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Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Tunnel Oxide Passivation Contact Cell 적용을 위한 tunnel oxide layer의 성장 방법에 따른 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
The study for surface passivation effects of tunnel oxide by using atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
SiNx double layer for improved thermal stability on rear passivation layer for n-type c-Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
N₂O gas를 이용한 tunnel oxide layer의 RF-power 가변에 따른 passivation 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Passivation Properties of Hydrogenated Silicon Nitrides deposited by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Degradation mechanism and enhancement solutions for field-effect passivation in nanostructured Si solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
ALD-Al2O3 막의 열처리 및 플라즈마 영향에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Analysis of wet chemical tunnel oxide layer characteristics capped with phosphorous doped amorphous silicon for high efficiency crystalline Si solar cell application
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Diffused layer characteristics by boron concentration effect in boron silicate oxide layer using PECVD for co-diffused c-Si solar cell applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Optical/electrical characteristics optimization of SiONx thin-film for charge effect passivation and ARC layer on boron diffused layer in n-type solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al₂O₃ films with surface treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Silicon Thin-film Solar Cell Deposited by Using High Working Pressure Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition System
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
최적화 된 SiO₂ / SiONx stack passivation layer의 특성 분석 및 고효율 N-type c-Si 태양전지 적용에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
표면 패시베이션 향상을 위한 이종접합 태양전지 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .02
Low-temperature synthesis of nc-Si/a-SiNx: H quantum dot thin films using RF/UHF high density PECVD plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Stabilization of Real-time Thickness monitoring system in PECVD chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Improvement of hole transport from p-Si with interfacial layers for silicon solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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