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Enhanced silicon surface passivation of atomic layer deposited Al₂O₃ films with surface treatment
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
Surface passivation and tunneling effects enabled by atomic layer deposition-Al₂O₃ for crystalline silicon solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Tunnel Oxide Passivation Contact Cell 적용을 위한 tunnel oxide layer의 성장 방법에 따른 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Surface passivation by atomic layer deposited Al₂O₃
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
N₂O gas를 이용한 tunnel oxide layer의 RF-power 가변에 따른 passivation 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Effect of annealing temperature on Al2O3 layer for the passivation of crystalline silicon solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
N₂O plasma growth ultra-thin tunnel oxide layer passivation by PECVD for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Analysis of wet chemical tunnel oxide layer characteristics capped with phosphorous doped amorphous silicon for high efficiency crystalline Si solar cell application
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Optimized ultra-thin tunnel oxide layer characteristics by PECVD using N₂O plasma growth for high efficiency n-type Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
Analysis of Post Oxidation Anneal on Silicon wafer Surface Passivation qualities in crystalline Silicon Solar Cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Hafnium oxide thin films by atomic layer deposition using a novel Hf metallorganic precursor
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
SiNx double layer for improved thermal stability on rear passivation layer for n-type c-Si solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
A research on the electrical properties of phosphorus doped silicon layer in tunnel oxide passivated contact solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Optical/electrical characteristics optimization of SiONx thin-film for charge effect passivation and ARC layer on boron diffused layer in n-type solar cell
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Electrical Properties of Tungsten Oxide Interfacial Layer for Silicon Solar Cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Thermal ALD 펄스 시간에 따른 Al₂O₃ 패시베이션막 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
Atomin layer Deposition of Al₂O₃ Thin Film on Anodic Aluminum Oxide for Fabrication of Standard Leak Element
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Degradation mechanism and enhancement solutions for field-effect passivation in nanostructured Si solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
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