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저자정보
김우재 (광운대학교) 이태현 (광운대학교) 이환희 (광운대학교) 권희태 (광운대학교) 신기원 (광운대학교) 양창실 (와이아이테크) 권기청 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제55회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2018.8
수록면
105 - 105 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2018

대기압 플라즈마를 이용한 n-type 실리콘 웨이퍼 불순물 도핑 공정 연구
김우재 ,  이태현 ,  이환희 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.08 학술대회자료
대기압 플라즈마를 이용한 n-type 실리콘 태양전지 불순물 확산 공정 연구
김우재 ,  이환희 ,  신기원 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

2017

대기압 RF 플라즈마를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 표면 조직화 공정 연구
김우재 ,  이환희 ,  권희태 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.08 학술대회자료
결정질 태양전지 공정을 위한 대기압 플라즈마 불순물 확산 공정 연구
김우재 전자바이오물리 2017.01 학위논문
p-n 접합 형성을 위한 반도체 실리콘 웨이퍼 대기압 플라즈마 붕소 확산 가능성 연구
김우재 ,  이환희 ,  권희태 외 3명 반도체디스플레이기술학회지 2017.01 학술저널

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#대기압 플라즈마 #n-type 결정질 실리콘 웨이퍼 #불순물 도핑

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