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발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
축전 결합형 C₄F₈/Ar 플라즈마 내에서 웨이퍼 두께에 따른 쉬스 렌즈 효과 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
유도결합형 산소 플라즈마를 이용한 다공성 폴리머 필름의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
CF₄ 유도결합플라즈마를 이용한 식각 장치의 바이어스 전극에서 측정 된 전기적 특성과 식각률 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
삼불화질소의 플라즈마 반응성 이온 식각 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
식각 공정을 위한 C₄F8/O2/Ar및 C₄F8/O2/Kr플라즈마의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
대기압 플라즈마를 이용한 n-type 실리콘 웨이퍼 불순물 도핑 공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
저온 대기압 플라즈마 발생 및 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
준광학 밀리미터파를 이용한 유도결합 플라즈마의 물성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
소재기술 기반의 바이오메디컬 분야 플라즈마 응용연구 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
젯 어레이 형 대기압 플라즈마의 처리 방식이 자궁경부암 세포에 미치는 영향 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Ar/NF3 혼합가스 Remote plasma source에서의 플라즈마 밀도 측정 및 Si/SiO₂ 식각률 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
유도결합 플라즈마 식각 장치에서 소스 및 바이어스 전력에 따른 식각 속도 분포 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
대기압 플라즈마 소스로 식각한 Wafer 반사율 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
산소 플라즈마를 이용한 이황화레늄의 두께 제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
삼중 열플라즈마 제트 시스템을 이용한 Si-MWCNT 나노복합체 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
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