Effect of deposition temperature and thickness on surface properties of ALD TiO₂ films

장영문 ,  양병찬 ,  신정우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Sn과 SnO 박막을 이용한 SnxSy 박막 합성

김태훈 ,  김정주 ,  이준형 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

CO oxidation catalyzed by NiO/mesoporous Al₂O₃

Sang Wook Han ,  Dae Han Kim ,  Eun Ji Pa 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Layer controlled TMDC films by sulfurization of W film deposited by ALD method via Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

이유빈 ,  이진석

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Properties of P-type SnO Thin film grown by Atomic Layer Deposition using Sn(dmamb)₂ and H₂O

Myeong Gil Chae ,  Bo Keun Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

광촉매 제품의 NO_x 저감 성능 현장 평가 사례 고찰

전혜준 ,  차진선 ,  윤성진 외 2명

한국대기환경학회지(국문)

2021 .04

Application of Atomic Layer Deposition to Solid Oxide Fuel Cells Based on Nanoscale Electrode Modification

Jiwon Oh ,  Heesu Hwang ,  Seungmuk Bae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

The effect of back electrode on electric properties of SnS thin film using atomic layer deposition

Hu weiguang ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

Pure Cobalt Thin Film by using Very High frequency (60MHz) Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Chang Hoon Song ,  Won Kyun Yeom ,  Doo San Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

A Facial Synthesis of Ba Doped g-C₃N₄ Photocatalyst for Improving Photocatalytic Activity under Visible Light Irradiation

Thanh-Son Bui ,  Min-Hee Pa ,  k 외 2명

한국대기환경학회 학술대회논문집

2018 .10

초음파 합성 적용 Cu₂O-TiO₂ (P-N 타입) 반도체 나노물질의 가시광 활성 평가

신승호 ,  최정학 ,  김지훈 외 1명

한국환경과학회지

2019 .11

Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Tin Oxide Field-Effect Transistors Deposited by Thermal Atomic Layer Deposition with H₂O Reactant

Chanhyeok Pa ,  k ,  Seonchang Kim 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2022 .11

Fabrication of ZnO inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

송종수 ,  윤홍로 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Novel organic-inorganic thin films with monolayer precision using molecular layer deposition (MLD) and atomic layer deposition (ALD)

윤관혁 ,  김인정 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

The study of physical property for indium oxide grown by Atomic Layer Deposition (ALD)

Young Joon Cho ,  Hyo Sik Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

커버글라스 기판 위 ALD 성장시킨 TiO₂ 박막의 질화 과정에 따른 물리적 특성의 변화

이윤상 ,  권오성 ,  김유권

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .02

The Study of interface of In₂O₃ grown by atomic layer deposition (ALD) using Et₂InN(TMS)₂ as In precursor on Si(100)

Young Joon CHO ,  Hyo Sik CHANG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

방오 코팅용 (TiO₂) (SnO2)의 친수특성 연구

진익현 ,  박창환 ,  이창현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Atomic layer deposition of highly stoichiometric Cu2SnS3 thin films as absorber materials for solar cells

Raphael Edem Agbenyeke ,  Bo Keun Pa ,  k 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08