반도체 디스플레이 제조기술: 진공에서 비진공, 다시 진공으로, 기술의 순환

염근영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 염근영 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제6권 제1호

발행연도: 2019.3

수록면: 2 - 3 (2page)

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